WF6-ը հիմնականում օգտագործվում է որպես հումք էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ մետաղական վոլֆրամի քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD) գործընթացի համար: WF6-ից պատրաստված WSi2-ը կարող է օգտագործվել որպես էլեկտրահաղորդման նյութ լայնածավալ ինտեգրալ սխեմաներում (LSI), ինչպես նաև կարող է օգտագործվել որպես հումք կիսահաղորդչային էլեկտրոդների, ֆտորի հումք քիմիական նյութերի, պոլիմերացման կատալիզատորների, օպտիկական նյութերի և այլնի համար: